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分析検査

特徴

  • ボールガイドのX軸とフラットZ軸ステージを組合せたXZ軸ステージです。 レーザー用光学関連
  • ※Z軸は構造上、ステージ内のバネが負荷に耐え切れず伸びてしまうおそれがあるため天地逆転の方向で設置し使用することができません。
  • ※Z軸はテコの原理を応用した構造のため、移動量の位置により目盛に対する送り量にズレ(マイクロメータヘッド0.5mm/1回転に対して±0.02mm程度)が生じます。

仕様

  • 【<XZ軸フラットスチールステージ ステージサイズ□120mm>共通仕様】
  • テーブル面サイズ:120×120mm
  • 移動量:X軸±20mm Z軸±5mm
  • 移動ガイド:ボールガイド
  • 主要材質:鉄
  • 表面処理:スーパーブラッククロム+黒つや消し
  • 移動精度/真直度:2.5μm
  • 許容モーメント荷重/ピッチング:9.8N・m
  • 許容モーメント荷重/ローリング:9.8N・m
  • モーメント剛性/ピッチング:0.4″/N・cm
  • モーメント剛性/ローリング:0.38″/N・cm
  • 平行度:150μm
  • 【個別仕様】
  • マイクロ操作位置:センター
  • 移動量/1回転:0.5mm
  • マイクロメータ最小読取:0.01mm
  • 耐荷重:245N(25.0kgf)
  • 質量:6.2kg
  • RoHS適合品

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